国产乱码一区二区三区,136福利美女导航,国内精品久久久久久久果冻,曰本成人视频一二区

13311665350

技術(shù)文章

TECHNICAL ARTICLES

當(dāng)前位置:首頁技術(shù)文章AZO靶材 熱壓制備工藝

AZO靶材 熱壓制備工藝

更新更新時間:2020-10-12點擊次數(shù):3856

  透明導(dǎo)電氧化物(Transparent Conductive Oxide,TCO)是一種在可見光光譜范圍(380nm < λ < 780nm)透過率很高且電阻率較低的薄膜材料,由于其良好的光電性能在節(jié)能玻璃、熱窗、電磁屏蔽窗、觸摸屏、液晶面板、太陽能電池、發(fā)光二極管等領(lǐng)域,被作為智能窗口材料、加熱導(dǎo)體、電磁屏蔽材料、薄膜電容材料、透明導(dǎo)電電極等而得到廣泛的應(yīng)用。

 

 

 

  TCO薄膜材料主要有CdO、In2O3、SnO2和ZnO等氧化物及其相應(yīng)的復(fù)合多元化合物半導(dǎo)體材料。電子工業(yè)的飛速發(fā)展對透明導(dǎo)電薄膜綜合性能的要求日趨提高,同時巨大的使用量使以稀有金屬銦為主要成分的ITO透明導(dǎo)電薄膜的成本劇增。鋁摻雜氧化鋅(ZnO:Al,AZO)由于其良好的光電性能、豐富的原料儲量、良好的刻蝕性能及在氫等離子體中能夠穩(wěn)定存在等突出特點而受到廣泛關(guān)注。

AZO靶材特點

  AZO透明導(dǎo)電薄膜的禁帶寬度達(dá)到3.4ev,本征吸收限為360nm,可減少P,N型摻雜區(qū)對光的吸收,提高光能量的利用率,是合適的窗口層材料。同時,AZO在等離子體中穩(wěn)定性好,制備技術(shù)簡單,原料便宜易得,無毒,在性能上與ITO可比擬,這些特點使其成為ITO的替代品。隨著透明導(dǎo)電薄膜的應(yīng)用發(fā)展,AZO濺射靶材及薄膜沉積技術(shù)成為研究熱點。

磁控濺射原理

  磁控濺射鍍膜工藝是指將涂層材料做為靶陰極,利用氬離子轟擊靶材,產(chǎn)生陰極濺射,把靶材原子濺射到工件上形成沉積層的一種鍍膜技術(shù)。

  磁控濺射鍍膜工藝對濺射靶材的要求較高,如尺寸、平整度、純度、各項雜質(zhì)含量、密度、N/O/C/S、晶粒尺寸與缺陷控制有明確要求。

 

AZO靶材 熱壓制備工藝

  AZO靶材性能指標(biāo)有致密度、晶粒大小及均勻性、氣孔大小及分布、電阻率等,這些性能都與靶材的制備工藝,尤其與靶材的燒結(jié)致密化過程密切相關(guān)。

  與無壓燒結(jié)工藝相比,熱壓燒結(jié)可以降低燒結(jié)溫度,縮短燒結(jié)時間,抑制晶粒生長,可獲得晶粒細(xì)小、致密度高和電學(xué)性能良好的產(chǎn)品。采用熱壓燒結(jié)工藝制備的氧化鋅鋁(AZO)靶材具有純度高、雜質(zhì)少、相對致密度高、晶粒均勻、一致性高等優(yōu)勢,因此研究AZO靶材的熱壓致密化工藝,對AZO靶材的產(chǎn)業(yè)化發(fā)展和薄膜太陽能產(chǎn)業(yè)來說都具有重要的意義。

 

 

AZO粉體制備

  制備Al均勻摻雜的AZO粉體,一般采用化學(xué)共沉淀法和機(jī)械合金化。

  化學(xué)共沉淀法:是指將所需的金屬鹽溶于溶劑,加入沉淀劑形成前驅(qū)體,過濾、煅燒制備得到所需粉體的一種方法。

  機(jī)械合金化法:是將ZnO與Al2O3粉料充分混合后,通過球磨機(jī)在運(yùn)轉(zhuǎn)過程中使粉末發(fā)生反復(fù)的變形、冷焊和破碎,從而實現(xiàn)元素間原子水平合金化。

AZO靶材熱壓燒結(jié)

高密度靶材的具體制備工藝:

  將原料粉體松裝如模具中,壓實后在真空狀態(tài)或惰性氣體的保護(hù)下,熱壓燒結(jié)制備。

  熱壓工藝參數(shù):抽真空至 1 ~ 100Pa,加壓30MPa;然后慢慢升溫,在1000℃ ~ 1200℃內(nèi)保溫約2小時,再緩慢降溫。

 

 

 

關(guān)注微信號

移動端瀏覽
熱線電話:13311665350

Copyright © 2025上海皓越真空設(shè)備有限公司 All Rights Reserved    備案號:滬ICP備2022033023號-2

技術(shù)支持:化工儀器網(wǎng)    管理登錄    sitemap.xml    總訪問量:387254

白丝白虎被操视频| 大鸡巴捅粉嫩视频| 日韩AV一本道在线观看| 人妻少妇精品久久人妻| 国产精品熟女坐脸| 96久久精品无码一区二区天美| 啊嗯哈好舒服啊视频在线观看免费| 美女亚洲欧美啪啪啪| 亚洲av大鸡巴操美女| 二级黄片在线| 日本老女人黄色电影| 国产夫妻自拍伦理| 长吊操逼美女视频回来了| 小骚逼喷水求大鸡吧操视频| 白虎,操出水,晚上观看| 男女操B狠狠操吧| 久久久久裸体电影一区二区三 | 在线观看一区乱码| 操鸡视频在线播放| 操逼大杂绘视频| 淫趴趴导航| 日本码一在线| 欧美男女日逼视频中文| 青青草A视频| 欧美午夜视频| 日韩五十路在线| 嗯嗯用力一区二区| 深夜激情成人福利| 操进美女黑骚逼| 大几把插B视频| 亚洲AV资源在线共享精品一区二区三区 | 农村粗腿熟妇呻吟声456| bav天天日| 岛国免费的| 未亡人被强上中出后| 日本天堂网中文字幕| 羞耻骚妇日b网| 婷婷视频在线91| 操大波美女视频欧美| 极品毒龙舌吻在线| 后入屁股免费播放|